丸型マグネトロン
Gencoa 第3世代
丸型マグネトロン
１インチから５インチターゲットサイズまでの第３世代丸型マグネトロンスパッタソースです。±45°のチルト・ガス導入・ユーティリティボックスが標準で装備されています。DC・パルスDC・RFモード、全てに対応しています。
丸型マグネトロン特徴
- コンパクトデザイン
- ±45°チルト機構
- 市販標準ターゲットサイズ採用
- ガス導入機構標準装備
- RF・HIPIMSモード対応リアユーティリティボックス
- 容易なターゲット交換、ターゲット厚み1-6mm対応
- 磁性体材料スパッタ可能な強磁場仕様
- 直接・間接冷却対応（工場出荷時に設定）
丸型マグネトロン仕様
| 項目 | 2インチ | 3インチ | 4インチ | 5インチ |
|---|---|---|---|---|
| ターゲットサイズ ボンディング |
50.8mmOD 1〜3mm厚 |
76.3mmOD 1〜3mm厚 |
101.7mmOD 1〜6mm厚 |
127mmOD 1〜10mm厚 |
| バッキングプレート | 3mm厚 | 6mm厚 | ||
| ターゲットサイズ モノブロック |
50.8mmOD 1-6mm厚 |
76.3mmOD 1〜6mm厚 |
101.7mmOD 1〜10mm厚 |
127mmOD 1〜15mm厚 |
| 内部シャフト取付 | 25.4ｍｍOD、300mm長 | 40mmOD、300mm長 | ||
| 外部フランジ取付 | DN80-ISO-LF | DN100-ISO-LF | DN160-ISO-LF | DN200-ISO-LF |
| 動作圧力 | 7x10-2~1x10-1mbar | |||
| パワー接続 | Nタイプ、7/16またはNH同軸コネクタ | |||
| 最大DC/パルスDC | 1 kw | 1.4 kW | 2 kW | 5 kW |
| 最大RFパワー | 200W | 750W | 1500W | 2500W |
| 冷却水ホース | 1/4in ポリウレタン | 3/8inポリウレタン | ||
| 冷却水量 | 3.2 L/min | 3.4 L/min | 3.8 L/min | 5 L/min |
| ガス導入 | 1/8inステンレス | |||
| チルト | ±45º | |||
| マグネット | 強磁場（HS) | 強磁場（HS）・高効率（HY) | ||
丸型マグネトロン 構成
3G（標準）：チルト・ガスインジェクション・リアシールドボックス
3G-A：ガスインジェクション・リアシールドボックス
3G-B：ガスインジェクション
3G-C：チルト・ガスインジェクション
3G-E：フランジ取付・ガスインジェクション
