コンパクトデザイン ±45°チルト機構 市販標準ターゲットサイズ採用 ガス導入機構標準装備 RF・HIPIMSモード対応リアユーティリティボックス 容易なターゲット交換、ターゲット厚み1-6mm対応 磁性体材料スパッタ可能な強磁場仕様 直接・間接冷却対応（工場出荷時に設定）