| 項目 | 2インチ | 3インチ | 4インチ | 5インチ |
|---|---|---|---|---|
| ターゲットサイズ ボンディング |
50.8mmOD 1〜3mm厚 |
76.3mmOD 1〜3mm厚 |
101.7mmOD 1〜6mm厚 |
127mmOD 1〜10mm厚 |
| バッキングプレート | 3mm厚 | 6mm厚 | ||
| ターゲットサイズ モノブロック |
50.8mmOD 1-6mm厚 |
76.3mmOD 1〜6mm厚 |
101.7mmOD 1〜10mm厚 |
127mmOD 1〜15mm厚 |
| 内部シャフト取付 | 25.4ｍｍOD、300mm長 | 40mmOD、300mm長 | ||
| 外部フランジ取付 | DN80-ISO-LF | DN100-ISO-LF | DN160-ISO-LF | DN200-ISO-LF |
| 動作圧力 | 7x10-2~1x10-1mbar | |||
| パワー接続 | Nタイプ、7/16またはNH同軸コネクタ | |||
| 最大DC/パルスDC | 1 kw | 1.4 kW | 2 kW | 5 kW |
| 最大RFパワー | 200W | 750W | 1500W | 2500W |
| 冷却水ホース | 1/4in ポリウレタン | 3/8inポリウレタン | ||
| 冷却水量 | 3.2 L/min | 3.4 L/min | 3.8 L/min | 5 L/min |
| ガス導入 | 1/8inステンレス | |||
| チルト | ±45º | |||
| マグネット | 強磁場（HS) | 強磁場（HS）・高効率（HY) | ||