丸型マグネトロン

１インチから５インチターゲットサイズまでの第３世代丸型マグネトロンスパッタソースです。±45°のチルト・ガス導入・ユーティリティボックスが標準で装備されています。DC・パルスDC・RFモード、全てに対応しています。