スピードフロ特徴

Speedfloでは独自開発されたPDF+という制御アルゴリ ズムを使用しており、高速で正確なフィードバック制御 を可能にしています。さらにデジタル可変構造制御 (DVSC)を特徴としており、MFCの完全開閉を行った場 合であっても高速処理および安定制御を維持する事が可能になっています。これによりフィードバック制御の高機能性・堅牢性および信頼性を高めています。

Speedfloには8個の独立したチャンネルが装備されてい ます。これは最大8台のMFCに対して同時にフィードバ ック制御を行う事ができ、各チャンネルでは複数のセン サ信号を組合せたり再利用する等の制御オプションも用 意されています。このパワフルな機能は特に大面積のスパッタプロセスにて利便性を発揮し、例えば大面積での成膜分布の正確な調整を行う事が可能になります。

新たに開発・追加された自動キャリブレーションおよび チューニング機能により、従来の手動でのセンサキャリブレーションやプロセスチューニングにかかる時間を短縮する事を可能にしました。この機能は自動的にターゲ ット表面の金属状態・化合物状態の判定を行い、自動的 にプロセスパラメタを設定します。