丸型マグネトロン(3G)
3G 丸型マグネトロンカソード
矩形マグネトロン
矩形マグネトロンカソード
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Speedflo
Speedflo 反応スパッタ用高速ガスコントローラ
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Optix プラズマ分光型ガスモニター
VacGas G16
VacGas G16 酸素モニター（ラムダセンサ）
全面エロージョン（FFE）
フルフェイスエロージョン、全面エロージョン
イオンソース
リニアイオンソース、丸型イオンソース、プラズマソース
アクティブアノード
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